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鋁導線清洗製程之改善

為了解決samsung掃描文件pdf的問題，作者賴振益 這樣論述：

本論文研究主要為探討DSP (Diluted Sulfuric Acid and Peroxide Mixture)在Lam DV34 300mm single wafer wet tool進行半導體後段金屬導線蝕刻後的清洗製程,其製程是藉由高轉速wafer rotation通以 Acid remove metal etch polymer . DSP chemical具有高效率clean成效及few damaged 對於金屬導線 ,但也由於此種Chemical具高導電度也因此潛藏著potential electrochemistry issue,此問題發生會造成 pattern damag

e and yield fail .而其發生原因與時間點為DSP chemical被注入於晶片表面進行清洗時, 其累積於晶片中的ESD (Electro-Static Discharging )瞬間於晶片表面發生電化學現象, 累積於晶片內的電荷會經由通路釋放出來,但也由於DSP酸液是以加壓方式通過 Dispense, 因此DSP(Diluted Sulfuric Acid and Peroxide Mixture)是以接近很細小接觸點的方式與晶片接觸, 因而在向晶片與DSP酸液的接觸點產生尖端放電(Corona discharge)現象, 此時晶片表面也因大量電荷通過而造成表層的金屬導線受損進

而產生斷路而造成良率受影響.因此根據 process flow藉由partition check從Photo到Etch逐站藉由KLA來確認 Electrochemistry issue的發生可能的製程站點 and make sure which issue model.當確認發生站點為Metal etch後,集所發生electrochemistry issue的wafer 可發現皆產生於離wafer center 90mm一個ring type的分佈,也就符合recipe step1 DSP 注酸的起始點. 接下來根據注酸起始點Boom swing 的距離,設定實驗條件以利驗證推測可能原因.最

後 ,藉由調整製程步驟與改變供酸順序 , 避免DSP (Diluted Sulfuric Acid & Peroxide Mixture) high conductivity solution 造成 DSP 裡的 Sulfuric acid include strong electrolyte . 並對照Defect and Yield 以得到最佳之製程方法。

數位閱讀浪潮之探究---以iPad為例

為了解決samsung掃描文件pdf的問題，作者黃友玲 這樣論述：

iPad自2010年推出以來，佳績不斷，成為史上銷售最快的電子產品，蘋果公司又於2011年乘勝推出iPad2，再次贏得全球矚目，消費者不但是引頸期盼，iPad所到之處更是門庭若市、大排長龍，這不但成為電子產品銷售奇蹟，更為人類閱讀歷史帶來了革命性的改變，為現代人的數位閱讀生活掀起浪潮，iPad影響之大，由此可見一斑。本研究聚焦於iPad進行深入研究，嘗試找到iPad之於此波數位閱讀浪潮，之所以能脫穎而出之原因，以及iPad之於此波數位閱讀浪潮，其所扮演的角色為何？iPad之於數位閱讀浪潮，未來發展趨勢為何？本研究採用質化研究法，包括文獻分析法、線上資料整理法，以及深度訪談法，研究整理之後，得

到以下結論：iPad之所以能掀起數位閱讀浪潮，究其原因，可分內在與外在因素來看：一、內在因素：iPad能提供使用者難忘的經驗，以體驗經濟理論來看，這的確符合了Pine &; Gilmore的理論：體驗就是創造難忘的經驗，成為消費者美好的回憶，讓其體會到娛樂性、教育性、逃避現實以及一種美學的感受。二、外在因素：長久以來電子書閱讀器或平板電腦市場已經累積了許多失敗的教訓，這些都成為iPad推出前可供參考的重要資訊，最後是環境的成熟，網際網路的普及、資訊環境的便利、雲端技術的進步等等，正像Malcolm Gladwell所觀察到的，許多變化來得又快又急，就在於觀念、行為、訊息及產品等，像傳染病一般突

然間發作蔓延，一旦達到「引爆點」，就會忽然間將時代潮流一口氣往前邁進。以上內外因素使得iPad具備了天時地利人和的關鍵因素，因此，當iPad一出，立刻造成全球搶購風潮，進而帶來數位閱讀之新氣象。本研究發現如下：一、iPad擴大了閱讀的族群，發揮其引導功能過去不看書，或是過去不碰電子書的人，很可能因為對iPad的好奇，而開始接觸數位閱讀，可以說，iPad擴大了閱讀的人口，許多人隨時隨地瀏覽新聞、雜誌、網頁、書籍，無形之中鼓勵了閱讀風氣，增加了讀書的人口。二、iPad豐富了閱讀內容：影音加文字、動態與互動iPad使得閱讀這件事變得廣義而豐富，閱讀不再限於靜態的、文字的、黑白的，而是彩色的、動態的影

音內容，甚至有互動的設計，使得閱讀內容多彩多姿。三、iPad串起了閱讀行為，完成數位閱讀新載體架構iPad能夠在體積小、行動力強的手機與功能強大的電腦之間，串起讀者的閱讀行為，提供所謂的無縫式閱讀，這都歸因於iPad能提供隨時隨地、隨開隨用的閱讀優勢，讓讀者可以在不同情境下取用資訊，串起現代人的數位閱讀行為，完成了數位閱讀的新載體架構。iPad使得繁忙的現代人得以運用更簡便、更有效率的方式管理個人的閱讀生活。以數位閱讀的角度來看，iPad可以刺激學習者的動機，提高閱讀者的興趣，單一紙本閱讀的時代已經過去了，現在的人們可以用iPad體驗更豐富更精采的閱讀生活。本研究建議如下：一、iPad對閱讀的

影響：iPad之於數位閱讀，由於其畫面亮麗、功能豐富，使用者可能會傾向於淺層理解、容易分心，收收E-mail、玩一下遊戲、看一段新聞等，閱讀可能會淪為片段式的所謂的「輕閱讀」，若要深入做學術研究，或是專題報告等，效果如何，不得而知。總之，iPad的確引起了使用者的閱讀興趣，但效果究竟如何，值得後續觀察。二、iPad對人際關係的影響：iPad之問世，許多人愛不釋手，尤其是App Store，天天都有新玩意兒，人與機器互動的時間增加許多，如此以往，會不會造成人與人之間的疏離感，而且iPad2還有Facetime功能，人對機器講話的機會也增加了，這會不會使人與人相處的臨場感逐漸消失，至終引起社會問題

，值得注意。