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半導體元件物理與製程：理論與實務(四版)

為了解決製程整合的問題，作者劉傳璽,陳進來 這樣論述：

　　以深入淺出的方式，系統性地介紹目前主流半導體元件(CMOS)之元件物理與製程整合所必須具備的基礎理論、重要觀念與方法、以及先進製造技術。內容可分為三個主軸：第一至第四章涵蓋目前主流半導體元件必備之元件物理觀念、第五至第八章探討現代與先進的CMOS IC之製造流程與技術、第九至第十二章則討論以CMOS元件為主的IC設計和相關半導體製程與應用。由於強調觀念與實用並重，因此儘量避免深奧的物理與繁瑣的數學；但對於重要的觀念或關鍵技術均會清楚地交代，並盡可能以直觀的解釋來幫助讀者理解與想像，以期收事半功倍之效。   　　本書宗旨主要是提供讀者在積體電路製造工程上的know-how與know-wh

y；並在此基礎上，進一步地介紹最新半導體元件的物理原理與其製程技術。它除了可作為電機電子工程、系統工程、應用物理與材料工程領域的大學部高年級學生或研究生的教材，也可以作為半導體業界工程師的重要參考   本書特色   　　●包含實務上極為重要，但在坊間書籍幾乎不提及的WAT，與鰭式電晶體(Fin-FET)、環繞式閘極電晶體(GAA-FET)等先進元件製程，以及碳化矽(SiC)與氮化鎵(GaN)功率半導體等先進技術。   　　●大幅增修習題與內容，以求涵蓋最新世代積體電路製程技術之所需。   　　●以最直觀的物理現象與電機概念，清楚闡釋深奧的元件物理觀念與繁瑣的數學公式。 　 　　●適合大專以上學

校課程、公司內部專業訓練、半導體從業工程師實務上之使用。

製程整合進入發燒排行的影片

壓電-磁力式微機電三軸磁場感測器之關鍵幾何尺寸對感測性能之影響研究

為了解決製程整合的問題，作者蔡育恩 這樣論述：

摘 要 iABSTRACT ii目錄 iii圖目錄 v表目錄 vi第一章 緒論 11.1研究動機 11.2文獻回顧 21.2.1 微機電磁感測器 21.2.1.1懸臂樑磁力式磁感測器 21.2.1.2磁力式大尺寸磁感測器 31.2.1.3磁力式微機電磁感測器 41.2.1.4微機電磁感測器關鍵製程研究 51.2.1.5磁-壓電式感測器之模擬優化分析 61.3 研究方法 9第二章 元件設計及優化 10第三章 元件製造 12第四章 材料與元件性能檢測 154.1材料檢測 154.

2元件性能檢測 17第五章 初步結果與討論 205.1材料檢測 205.2元件性能 225.2.1 元件共振頻率量測 225.2.2 元件共振頻率模擬分析 255.2.3 三軸交流磁場量測 275.2.4 三軸交流磁場模擬結果 415.2.5 連續直流磁場量測 45第六章 總結與未來工作 526.1總結 526.2未來工作 52參考文獻 53

積體電路製程技術

為了解決製程整合的問題，作者葉文冠 這樣論述：

　　台灣半導體產業由於高品質的人力資源與產官學研究的良性合作等因素，已具備完整的產業供應鏈與群聚效應，發展其獨特的優越性為台灣經濟史上創造不少奇蹟，除了帶動電子資訊業的蓬勃發展外，也讓台灣在世界舞台上擔任舉足輕重的角色。正因為半導體技術突飛猛進，也讓國內呈現許多半導體相關資訊與參考書籍。然而，觀察坊間半導體相關書籍資訊難易不一，並非完全針對欲進入半導體製造領域之人士所設計。另一方面，針對其他行業背景但對半導體製造有興趣的人員以及相關在校學生，並無合適的入門參考書籍可參考，因此激發本人撰寫一本結合半導體元件設計與相關積體電路製造之參考書的願景。   　　本書以元件設計及製程工程師之觀點來寫作

，編排章節與一般市面半導體相關書籍不同，共近三百多頁，主要以半導體元件設計理念與相關半導體工程觀點為內容。適合讀者包括半導體等相關高科技產業的新進人員，以及對半導體產業有興趣的學生和社會人士使用。本書的產生，有些是我在半導體產業界累積的觀察心得，有些是我教學與學生討論激盪所產生的結論，有些則是我閱讀國內外書籍的心得，我希望這些觀點能夠帶給讀者一些幫助。   　　本書內文共含十章，將半導體積體電路的製造技術分為前段製程與後段製程，以製造理想元件作為論述之重點，運用模組製程來敘述如何整合成積體電路為架構，並詳述各製程相關模組所扮演的角色以及如何做好所需之相關設備與製程需求。本書儘量以半導體製造實務

上面臨之困難與可能解決方法來說明，讓學員能夠充分了解目前半導體積體電路製造技術之發展趨勢，提升讀者閱讀的興趣，也可提供相關工程師作為一參考手冊。本書內容涵蓋元件設計與相關模組製程技術，並以製程整合來說明關鍵模組技術之重要性，半導體產業是發展快速的產業，本書疏漏之處在所難免，謹在此期盼諸位先進，不吝指教，廣為建言。

高靈敏度神經元特異烯醇酶微型生醫感測晶片之開發

為了解決製程整合的問題，作者陳威佑 這樣論述：

依據108年行政院衛生福利部統計資料顯示，癌症已連續38年位居國人十大死因中的首位，其中在十大癌症死因中，可發現無論男性或女性皆以肺癌為死亡率最高者，每年超過9000人因其喪命。依據組織病理學，肺癌可劃分為「小細胞肺癌」以及「非小細胞肺癌」兩種，其中的小細胞肺癌因其具癌細胞生長和轉移速度快速特點，對患者的治療更具時效性，在臨床醫學上，神經元特異烯醇酶(neuron specific enolase, NSE)常用作檢測小細胞肺癌之良好指標，故透過量測血液中神經元特異烯醇酶濃度，可用來判斷患者是否罹患小細胞肺癌和其嚴重程度的參考，適合醫生臨床診斷、分期、偵測及手術後追蹤之應用。為此本論文致力於

開發可快速檢測檢測神經元特異烯醇酶之微型感測晶片，以求改善現有檢測方式較為耗時且成本較高之缺點。本論文利用微機電製程技術開發出以延伸式閘極場效電晶體為基礎，結合封裝晶片完成之微型感測晶片，並運用自我組裝單分子層技術將神經元特異烯醇酶抗體固定於延伸式閘極感測區，利用抗體與抗原會產生專一性鍵結，且過程中會施予閘極負偏壓，便可由此電晶體特性變化去推算抗原濃度。本元件之主要製程包括四次薄膜沉積與四次黃光微影製程，以製作出延伸式閘極場效電晶體，另外使用兩次薄膜沉積與兩次黃光微影製程完成封裝晶片。 本論文所開發之微型神經元特異烯醇酶感測晶片尺寸為14.1 mm × 8 mm × 1 mm，依據量測結

果顯示，本元件在量測範圍0~1 ng/ml下，其感測電壓靈敏度為0.247 V∙(ng/ml)-1，線性度R-Square=0.857；在量測範圍1~100 ng/ml下，其感測電壓靈敏度為3.58×10-3 V∙(ng/ml)-1，線性度R-Square=0.934，偵測極限為0.279 ng/ml，響應時間為300秒，且對於癌胚抗原、細胞角質素21-1之感測靈敏度極低，顯示本論文開發之感測晶片具高專一性。綜觀上述，本論文所開發之微型神經元特異烯醇酶感測晶片具有體積小、感測靈敏度高、專一性高以及響應時間快等優點。