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親疏水效應對於高密度微透鏡陣列形成之研究

為了解決mla產生器的問題，作者王浩維 這樣論述：

微透鏡陣列(Micro-Lens Array, MLA )主要將光做有效應用，使光線及能量得以均勻化，為目前微結構製程技術中應用最廣泛的產品之一，常應用於單片或多片式投影機、照明集光系統、多通道光通訊、生醫晶片多通道檢測等系統，在不同科技領域中扮演著關鍵元件角色。 微透鏡陣列(MLA)隨著微細加工技術的發展，近年來已有許多不同類型的製程技術被陸續發表，因此在未來科技持續地發展下，微透鏡陣列結構的實際性應用必會出現在更多元化的科技應用上。本論文擬以新穎之微製造技術製作微陣列透鏡，並研究不同材料親疏水效應對於高密度微透鏡陣列形成之效益。微透鏡陣列結構採用高分子材料(polymer)SOG，

配合掀離(lift-off)製程技術，SOG滴入後以漸升溫的方式固形，藉由鐵氟龍的疏水效應可將SOG斷開，並利用自主裝方式使得充分填滿於整個框架裡的SOG能形成直徑各為2.2μm及3.2μm、厚度約為2μm之微透鏡陣列。對於微透鏡陣列模具為求尺寸精準，本論文對於顯影、乾式蝕刻與濕式蝕刻時間做參數之調控，增加其透鏡陣列尺寸的精確性。 此技術若能開發成功，之後搭配光學開發軟體ZEMAX針對高密度、高精度微透鏡陣列於消費性電子產品之廣泛應用，使其光源能夠均勻地照亮在整個屏幕之效率以及將整體畫素提高並且期望能縮小體積。